扫描电子显微镜利用精细聚焦电子束照射在样品表面,该电子束可以是静止或在样品表面作光栅扫描。在这个过程中,电子束与样品相互作用产生各种信号,其中包括二次电子、背散射电子、俄歇电子、特征X射线和不同能量的光子等,这些信号来自样品中的特定区域,分别利用探测器接收,可以提供样品的各种信息,用于研究材料的微观形貌、晶体学特征和微区化学成分。X射线能谱仪是扫描电镜附带的附件,通过检测从样品出射的特征X射线的波长或能量,测定样品元素的组成、相对含量以及分布。